发布日期:2025-10-20 05:38 点击次数:150
型号正确性考据欧洲杯体育
搜索成果中未发现与 “NONE SYSTEM1188” 富余匹配的去胶缔造。可能存在以下情况:
拼写差错:举例 “NONE” 可能为 “Nitto”(日东电工)的误写,后者在选录 1 中提到了 NEL SYSTEM 系列晶圆剥离缔造,参数包括晶圆尺寸(300mm/200mm)、朦拢量(60 晶圆 / 小时)等。
品牌污辱:部分缔造型号可能包含 “SYSTEM” 后缀,如巨室激光的 LF12-XS3MRS1A 去胶剥离机,维持 50-300mm 晶圆、NMP/DMSO 化学药液,产能达 40 晶圆 / 小时。
同类缔造参数参考
若用户需求为通用去胶缔造时候商量,可参考以下典型参数:
晶圆兼容性:往往维持 4-12 英寸(100-300mm)晶圆,如日东 HR3000III 维持 300mm 晶圆,巨室激光缔造兼容 50-300mm。
处置才智:朦拢量领域从半自动缔造的 50 秒 / 晶圆(如日东 HSA840)到全自动缔造的 85 晶圆 / 小时(如日东 HR8500III)。
工艺参数:
化学药液:常见使用 NMP、DMSO、硫酸 / 双氧水羼杂液(如巨室激光缔造)。
温度放胆:部分缔造维持使命台加热(如日东 HR8500III)或高温工艺(如湿法去胶缔造可达 100℃)。
剥离模式:包括机械剥离(如日东缔造的剥离棒放胆)、等离子体剥离或湿法浸泡 + 喷淋(如巨室激光缔造联接槽式浸泡与旋转喷淋)。
洁净度与精度:
颗粒放胆才智条目加多值 < 30 颗 @0.2 微米,金属离子残留 < 5E10 atoms/cm²(如选录 8 中的湿法去胶机)。
部分高端缔造(如复坦希双波段 UVLED 解胶机)可终了 99.8% 晶圆名义洁净度欧洲杯体育,处置时刻 8-12 秒 / 晶圆。