证券之星音书，证实天眼查APP数据显现中微公司（688012）新得回一项发明专利授权，专利名为“下电极组件和等离子体处置安装”开云(中国)kaiyun网页版登录入口，专利苦求号为CN202110172207.7，授权日为2025年2月14日。

专利纲目：一种下电极组件和等离子体处置安装，其中，所述下电极组件包括：基座，其内设有凹槽；静电夹盘，位于所述基座上，用于吸附待处置基片，其内设有第一气体通谈，所述第一气体通谈与凹槽对应；第一陶瓷件和第二陶瓷件，设于所述凹槽内，且二者相互互助酿成第二气体通谈，所述第二气体通谈与第一气体通谈相互连通，用于向待处置基片的后头运送冷却气体，以舍弃所述待处置基片的温度，其中，所述第二气体通谈为非直线。所述下电极组件故意于缩小静电夹盘发生烽火放电。

本年以来中微公司新得回专利授权29个，较客岁同时增多了222.22%。络续公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面参预了5.68亿元，同比增94.58%。

数据开首：天眼查APP

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